微透鏡加工技術與三維形貌測量分析
一、微透鏡主流加工技術
1、光刻與刻蝕法
通過光刻工藝將透鏡圖案轉移至襯底材料，憑借亞微米級加工精度，適用于大規(guī)模微透鏡陣列的批量制造。
2、模壓成型法
先加工高精度模具，再通過注塑或熱壓成型工藝，實現(xiàn)微透鏡陣列的高效復制，具備工藝穩(wěn)定性強的特點。
3、雙光子聚合技術
利用飛秒激光在光敏材料中逐層固化，直接構建三維微透鏡結構，可實現(xiàn)納米級精度的復雜形貌加工。
4、熱回流法
通過光刻膠曝光顯影形成柱狀陣列結構，加熱至材料玻璃態(tài)轉變溫度以上使其軟化，借助表面張力作用收縮成微透鏡陣列。
二、Sensofar 微透鏡三維形貌測量方案及優(yōu)勢
Sensofar 在微透鏡表面形貌測量領域展現(xiàn)出技術*先性，其核心方案基于共聚焦、白光干涉與 AI 多焦面疊加技術的融合，實現(xiàn)了對微透鏡三維形貌的高精度表征。具體優(yōu)勢包括：
1、融合干涉技術：結合傳統(tǒng)白光干涉與融合干涉成像技術，可獲取高分辨率的表面形貌圖像，有效提升測量精度與穩(wěn)定性。
傳統(tǒng)白光干涉
融合干涉成像技術
2、自動化分析能力：
SensoPRO 軟件：搭載可擴展的插件式數(shù)據(jù)分析算法，支持靈活的自動化分析流程，為微透鏡加工質量控制提供量化數(shù)據(jù)支撐（如曲率半徑、表面粗糙度等參數(shù)）。
SensoSCAN 軟件：集成自動化測量模塊，通過標準化流程縮短測量周期，實現(xiàn)快速、精準的數(shù)據(jù)采集，滿足工業(yè)級生產中的高效檢測需求。
Sensofar 的技術組合兼顧了測量精度（納米級）與檢測效率，可全面適配微透鏡行業(yè)對復雜結構形貌的高精度表征需求，助力提升加工工藝的可控性與成品率。
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