將結(jié)構(gòu)光以一定角度投射到樣本上，用相機(jī)接收反射光。投射到某個(gè)表面上時(shí)，投射光型改變，因此，通過確定條紋圖形與高度變化之間的相互關(guān)系，我們就可獲得 3D 圖像。
光學(xué)方案
為了在現(xiàn)場樣本上獲得均勻、聚焦且等距的條紋投影，Scheimpflug 配置與雙遠(yuǎn)心鏡頭一起使用。不管物體在視場中的距離或位置如何，均有恒定的放大倍率，是測量用途的理想之選。
正確 單拍采集
垂直精度高的大區(qū)域 而且 可重復(fù)性高 (σ = 0.01 µm)，系統(tǒng)噪聲 低至 0.5 µm
實(shí)像顏色
沒有Z 向掃描
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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