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納米加工的加工技術(shù)一文帶你了解
閱讀：2066 發(fā)布時間：2021-9-24
納米加工是指構(gòu)建尺度在納米范圍內(nèi)的微結(jié)構(gòu)，在納米尺度下操控物質(zhì)的組裝從而構(gòu)成具有一定功能的微器件。它是傳統(tǒng)微加工技術(shù)的發(fā)展，是納米技術(shù)的核心之一，它的發(fā)展會給人們的未來生活帶來不可估量的影響.
按加工方式，納米級加工可分為切削加工、磨料加工（分固結(jié)磨料和游離磨料）、特種加工和復(fù)合加工四類（表4-2）。納米級加工還可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固有磨料和游離磨料加工；非傳統(tǒng)加工是指利用各種能量對材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用。納米級加工技術(shù)也可以分為機械加工、化學(xué)腐蝕、能量束加工、復(fù)合加工、隧道掃描顯微技術(shù)加工等多種方法。機械加工方法有單晶金剛石刀具的超切削，金剛石砂輪和CBN砂輪的超磨削和鏡面磨削、磨、砂帶拋光等固定磨料工具的加工，研磨、拋光等自由磨料的加工等，能束加工可以對被加工對象進(jìn)行去除，添加和表面改性等工藝，例如，用激光進(jìn)行切割、鉆孔和表面硬化改性處理。用電子束進(jìn)行光刻、焊接、微米級和納米級鉆孔、切削加工，離子和等離子體刻蝕等。屬于能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學(xué)加工、電解射流加工、分子束外延等。STM加工可以進(jìn)行原子級操作和原子去除、增添和搬遷等。