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質量流量控制器的工作壓差范圍

閱讀:1503      發(fā)布時間:2022-6-9
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  質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內的流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法,所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。
 
  該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面,帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏,具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數(shù)字通信方式。
 
  產品應用于:半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制
 
  質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于*低值(0.1 MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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