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　　質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。
 

　　該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。
 

　　產品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制
 

　　質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于*低值(0.1 MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa)，有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。