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產(chǎn)品簡介
YES-CV200RFS等離子剝離/拋光系統(tǒng)利用低頻，下游和電容性等離子工藝。避免使用有毒的化學(xué)藥品，以進(jìn)行溫和的“除垢"清潔以及強(qiáng)韌的光刻膠，聚酰亞胺和BCB的強(qiáng)力等離子體剝離。通過濕法工藝可獲得更高的產(chǎn)量和可重復(fù)的結(jié)果。
詳細(xì)介紹
享受高達(dá)每分鐘7,000埃的快速剝離速度，同時(shí)實(shí)踐對工程師和操作員而言更安全的綠色制造。無需有毒化學(xué)物質(zhì)，RFS系列可為各種應(yīng)用提供較低的擁有成本和靈活的等離子功率設(shè)置。此外，RFS系列等離子剝離/拋光系統(tǒng)提供的溫度控制，以實(shí)現(xiàn)均勻，可重復(fù)的結(jié)果。下游過程不提供等離子體充電。當(dāng)準(zhǔn)備好進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)時(shí)，您可以無縫過渡到我們的大批量自動(dòng)化EcoClean系統(tǒng)。
強(qiáng)大的清潔功能可去除光致抗蝕劑，聚酰亞胺和BCB；
等離子剝離/拋光系統(tǒng)具有溫和的Descum功能
享受高達(dá)每分鐘7,000埃的快速剝離速度，同時(shí)實(shí)踐對工程師和操作員而言更安全的綠色制造。無需有毒化學(xué)物質(zhì)，RFS系列可為各種應(yīng)用提供較低的擁有成本和靈活的等離子功率設(shè)置。此外，RFS系列提供的溫度控制，以實(shí)現(xiàn)均勻，可重復(fù)的結(jié)果。下游過程不提供等離子體充電。當(dāng)準(zhǔn)備好進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)時(shí)，您可以無縫過渡到我們的大批量自動(dòng)化EcoClean系統(tǒng)。
強(qiáng)大的清潔功能可去除光致抗蝕劑，聚酰亞胺和BCB；
具有溫和的Descum功能技術(shù)參數(shù)
