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深圳市中圖儀器股份有限公司

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中圖儀器全自動晶圓檢測機輕松測量wafer套刻偏移量
發(fā)布時間:2022-04-12
視頻簡介

有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)可對Wafer的關鍵尺寸進行檢測,對套刻偏移量的測量,以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量,包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動測量。


300*300mm真空吸附平臺,最大可支持12寸Wafer的自動測量,配置掃描槍,可實現(xiàn)產(chǎn)線的全自動化生產(chǎn)需求。

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