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四探針電阻測試儀的測試原理

閱讀:396      發(fā)布時間:2025-5-7
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四探針電阻測試儀的測試原理基于?電流-電壓分離測量法?,通過消除接觸電阻和引線電阻的影響實現(xiàn)高精度測量。其核心工作原理如下:

一、四探針電阻測試儀基本測量原理

?探針布置與功能分工?
四個探針以直線或矩形排列接觸被測樣品表面,外側(cè)兩探針(1、4號)連接恒流源施加穩(wěn)定電流,內(nèi)側(cè)兩探針(2、3號)連接高精度電壓表測量電勢差。

?電流探針?:驅(qū)動電流注入樣品形成電場分布。

?電壓探針?:檢測非電流路徑位置的電壓差,避免接觸電阻干擾。

二、四探針電阻測試儀關鍵設計特性

?開爾文四線法優(yōu)化?
通過獨立電流回路和電壓測量回路,消除引線電阻和接觸電阻的影響,確保測量僅反映樣品本身特性。

?探針配置適應性?

?直線排列?:適用于大尺寸塊狀或板狀樣品,探針間距可調(diào)。

?矩形/正方形排列?:適合細長條狀或棒狀樣品,減少邊緣效應干擾。

?儀器硬件特性?

探針采用碳化鎢材質(zhì),配合寶石導套和彈簧壓力裝置,確保接觸穩(wěn)定性和耐久性。

數(shù)字電壓表分辨率達0.1μV,支持自動量程切換和極性調(diào)節(jié)。

三、四探針電阻測試儀適用場景與優(yōu)勢

?主要應用?
廣泛應用于半導體晶圓、金屬薄膜、陶瓷等材料的電阻率和方阻測量,尤其適合微區(qū)或局部電學特性分析。

?技術優(yōu)勢?

?非破壞性?:表面接觸測量,不干擾材料內(nèi)部結(jié)構。

?高精度?:修正系數(shù)(如η/F)可適配不同幾何形狀樣品,減小邊緣效應誤差。

?環(huán)境穩(wěn)定性?:測量結(jié)果受溫濕度等外部條件影響小。

四、四探針電阻測試儀典型儀器結(jié)構示例(以BEST-300C型為例)

?電氣模塊?:集成恒流源、高精度電壓檢測及數(shù)字處理單元,支持電阻率/方阻自動切換顯示。

?機械結(jié)構?:配備高度粗調(diào)/細調(diào)裝置和壓力自鎖機構,確保探針接觸壓力均勻可控

電壓擊穿測試儀,體積表面電阻率測試儀,介電常數(shù)介質(zhì)損耗測試儀,漏電起痕試驗儀,耐電弧試驗儀,TOC總有機碳分析儀,完整性測試儀,無轉(zhuǎn)子硫化儀,門尼粘度試驗機,熱變形維卡溫度測定儀,簡支梁沖擊試驗機,毛細管流變儀,橡膠塑料滑動摩擦試驗機,氧指數(shù)測定儀,水平垂直燃燒試驗機,熔體流動速率測定儀,低溫脆性測試儀,拉力試驗機,海綿泡沫壓陷硬度測試儀,海綿泡沫落球回彈測試儀,海綿泡沫壓縮永九變形試驗儀

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