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超小型金屬鍍膜設(shè)備MSP MINI的特點(diǎn)

一鍵自動(dòng)鍍膜。沒有麻煩的操作。高性價(jià)比機(jī)器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(biāo)（φ30mm）。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。Au 靶材作為標(biāo)準(zhǔn)配置。展示了其在臺(tái)式掃描電鏡預(yù)處理方面的能力。
可選的靶Ag膜具有優(yōu)異的光澤度，便于光學(xué)顯微鏡觀察透明材料表面。
概述
本設(shè)備是一種帶有磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。用光學(xué)顯微鏡觀察透明材料的表面（Ag 靶材）或用電子顯微鏡（Au/Ag 靶材）將導(dǎo)電膜應(yīng)用于少量樣品時(shí)使用。

特點(diǎn)

★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。

★為了將小面積的試樣涂布時(shí)的浪費(fèi)最小化，小面積靶（φ30mm）。

★樣品臺(tái)是直接放置滑動(dòng)玻璃的平面樣品臺(tái)。

★低電壓涂層，即使是敏感的樣品也幾乎沒有樣品損傷。

★用1個(gè)按鈕全自動(dòng)進(jìn)行排氣、涂層、泄漏。

★目標(biāo)金屬是金（Au）標(biāo)準(zhǔn)?？蛇x的銀。

★排氣系統(tǒng)采用外置RP5升/min。

★使用輔助試料臺(tái)（可選），可提高涂布率，提高效率可以成膜。