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技術(shù)文章

日本tasahi半導(dǎo)體和LCD制造設(shè)備用橡膠參數(shù)介紹

閱讀:1437          發(fā)布時(shí)間:2022-6-27

日本tasahi半導(dǎo)體和LCD制造設(shè)備用橡膠參數(shù)介紹

image.png

- 對(duì)溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。

? 比 perflo-elastomer 便宜。

-適用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備的濕部件。

image.png

氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種:多元醇交聯(lián)(氟橡膠的主流)和過(guò)氧化物交聯(lián),但各有優(yōu)缺點(diǎn)如下表所示。

 強(qiáng)項(xiàng)缺點(diǎn)
多元醇優(yōu)于壓縮變形用蒸汽水解
過(guò)氧化物優(yōu)異的耐水性和耐蒸汽性耐熱性和壓縮變形較差

由 Asahi Tazaki 開(kāi)發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。

成就示例

半導(dǎo)體制造設(shè)備

 耐蒸汽 (T77SA1)通用 FKM
初始物理特性
抗拉強(qiáng)度 (MPa) 伸長(zhǎng)率
(%)
硬度
10.5
230
A69 / S
13.1
270
A70 / S
在100°C 和 1 個(gè)大氣壓下
蒸汽
120H后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化
± 0
+1.5
± 0
-20.5
+3.7
-4
240小時(shí)后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化
-3.5
+3.5
-2
-31.0 +
15.5
-8
180℃
蒸汽
1000H后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化

-15

+8
-4

-68
+60

-二十五

壓縮畸變率(%) 175° x 22H7


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