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技術文章

日本ata Gimble 多涂機 AT-903涂層示例分析

閱讀:1066          發(fā)布時間:2022-4-12

日本ata Gimble 多涂機 AT-903涂層示例分析


涂層示例

◆ 萬向節(jié)效果

在萬向機操作下,在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
(見下圖,濾紙表面SEM照片)。

放大倍率 x 50,000 倍

云臺運動視頻


◆ 與其他公司的顆粒性能比較(樣品:載玻片放大倍數(shù):×100,000)

(其他公司)

(ATA)

◆ 涂膜顆粒度差異示例(AFM 圖像)

膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜

膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜

可以看出,Cr非晶膜和鉑再結晶膜形成良好。



??頭型(可選)

1頭型

2頭型

??清潔(可選)

清潔機制

特征

全向擺動(萬向運動)載物臺使涂層具有良好的環(huán)繞性。
*干燥的排氣可防止樣品污染(渦輪分子泵+隔膜泵)
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、W 等。目標類型可以是used
特殊的快門功能可抑制對樣品的熱損傷。
可以選擇 1 或 2 頭的數(shù)量。

<選項>

等離子清洗(主機選件)可去除有機異物并進行表面親水化處理,
碳涂層附件(選件)可用于形成碳膜(目前正在建設中)。


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