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蘇州星源-和大家討論凈化工程無塵室指標
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凈化工程無塵室指標蘇州星源潔凈
半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當(dāng)我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因為需要一個無塵室。
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。 由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆每立方英尺，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩。
無塵室凈化指標項
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
⒊ 溫度和濕度之控制。
⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。
⒌ 有害氣體之排除。
⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
⒎ 靜電之防制。
⒏ 電磁干擾預(yù)防。
⒐ 安全因素之考慮。
⒑ 節(jié)能之考量。
⒒照度的的調(diào)節(jié)