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檢測(cè)行業(yè)中常見(jiàn)的膜厚測(cè)試方法有哪些？
檢測(cè)行業(yè)中常見(jiàn)的幾種膜厚測(cè)試方法如下：
1、金相測(cè)膜厚度
設(shè)備：金相顯微鏡
此方法適用于測(cè)量厚度＞1μm的金屬膜層，可同時(shí)測(cè)量多層；
被測(cè)樣品需要經(jīng)垂直于待測(cè)膜層取樣進(jìn)行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測(cè)量待測(cè)膜層厚度。
2、SEM測(cè)膜厚度
設(shè)備：掃描電子顯微鏡（SEM）
此方法測(cè)試范圍寬，適用于測(cè)量厚度0.01μm~1mm的金屬或非金屬膜層；
樣品前處理與金相測(cè)厚相同，配有能譜附件（EDS）的SEM設(shè)備可以確定每一層膜層的成分。
3、熒光測(cè)厚度
設(shè)備：XRF測(cè)厚儀
此方法適用于測(cè)量厚度＞0.01μm的金屬膜層，可同時(shí)測(cè)量多層；
測(cè)量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）；
可以實(shí)現(xiàn)無(wú)損檢測(cè)（視樣品）。
4、XPS深度剖析
設(shè)備：X射線光電子能譜儀（XPS）
此方法適用于測(cè)量納米級(jí)厚度的膜層。
XPS設(shè)備可以測(cè)試樣品極表面的元素成分（每次測(cè)量的信息深度為5nm左右），并且可以在樣品室內(nèi)直接對(duì)樣品表面進(jìn)行濺射，可以去除厚度（納米級(jí)）的表層物質(zhì)，這兩個(gè)功能結(jié)合使用就可以測(cè)量出納米級(jí)膜層的厚度；
例如，樣品表面成分為銠元素，逐步濺射掉表面50nm后發(fā)現(xiàn)成分中開(kāi)始出現(xiàn)大量的鉑元素，那么可以判斷測(cè)試位置銠膜的厚度約為50nm。
5、臺(tái)階測(cè)厚方法
設(shè)備：臺(tái)階儀
此方法對(duì)厚度的測(cè)量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測(cè)；
但對(duì)樣品的要求很高，膜層與基材之間必須有臺(tái)階，且表面光滑。