螺桿式真空泵在空間模擬方面的應用
由于空間模擬裝置其被抽容器的容積從幾千立方米到幾萬立方米,真空度變化從幾萬Pa到幾個Pa,而且被抽氣體中含有大量的水蒸氣或部分氮氧化物,所以這種真空系統(tǒng)首先遇到問題就是預抽真空問題,如果選用傳統(tǒng)的滑閥泵作前級泵則存在下列問題:
首先是滑閥泵在高入口壓力下長時間運行,由于氣流攜帶作用,其噴油現(xiàn)象十分嚴重,一是浪費大量昂貴的油,二是污染環(huán)境:
由于被抽氣體中含有大量的水蒸氣或氮氧化物,這些氣體一旦進入泵內(nèi)會使真空泵油迅速乳化變質,油的密封性破壞,導致真空性能下降,甚至使泵毀壞;
需要配置泵的數(shù)量多,而且滑閥泵的振動、噪聲也大;
螺桿式真空泵由于具有清潔無油、抽速大、振動小、噪聲低等優(yōu)點,已成為當前大型空間模擬真空系統(tǒng)的產(chǎn)品。另外,為了提高真空機組的抽速和極限真空并相應的減小螺桿泵的尺寸,一般都是采用一臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構成的二級機組或二臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構成的三級機組。為防止顆粒雜質進入泵內(nèi),在真空機組入口均配置入口過濾器,其精度為50μm。
螺桿泵泵腔內(nèi)無任何其他工藝介質,內(nèi)部表面均采取涂層的防腐措施,既節(jié)能又環(huán)保,無廢液處理問題,溶媒還可以全部回收。