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技術(shù)文章

Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)

閱讀:794          發(fā)布時(shí)間:2021-10-20

Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)

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光電編碼器的測量精度受軸系精度、圓光柵精度、電子學(xué)細(xì)分精度等多種因素影響,而圓光柵盤的偏心作為重要的系統(tǒng)誤差,直接影響了光電編碼器的測角精度。隨著光柵線密度的增大,衍射現(xiàn)象變得明顯,此時(shí)傳統(tǒng)的莫爾條紋檢測方法已無法提取出高質(zhì)量的信號,顯微鏡檢測的精度無法滿足實(shí)際要求。本文利用衍射光干涉原理,提取高密度圓光柵位移信息,用于測量高密度圓光柵的偏心量。該方法使用對徑放置的兩個(gè)光電讀數(shù)頭采集干涉條紋信號,通過對比兩路信號的相位差最終解算得到圓光柵盤偏心量,并搭建了試驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行了驗(yàn)證。試驗(yàn)結(jié)果表明,對刻劃中徑34 mm,一周刻線45 000 lp的高密度圓光柵進(jìn)行偏心量的測量,比傳統(tǒng)方法使用顯微鏡的測量瞄準(zhǔn)精度提高數(shù)十倍甚至上百倍。

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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)杭州卓德優(yōu)勢供應(yīng)現(xiàn)貨

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RON 705 18000 01-04 R 5.00 02 29B63A 64 01 .. RA ~11µApp 05    223505-09     

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RON 705 .2000-18000 RA KG01.00TB    292380-13     

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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)高精度計(jì)量圓光柵,是近代光電測角儀器和測角技術(shù)的重要基礎(chǔ)元件.以計(jì)量圓光柵為核心部件組成的光電傳感器,可將輸入的機(jī)械量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的數(shù)字量,與數(shù)顯裝置或計(jì)算機(jī)連接構(gòu)成測量,控制系統(tǒng),易于實(shí)現(xiàn)機(jī)器及儀器的自動(dòng)測量,數(shù)字測量與數(shù)字控制,其應(yīng)用正向著更加廣泛的領(lǐng)域滲透. 論文首先簡述了計(jì)量圓光柵技術(shù)的發(fā)展歷史,在此基礎(chǔ)上對計(jì)量圓光柵技術(shù)在角度數(shù)字測量,運(yùn)動(dòng)比較測量,傳動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)角測量等方面的應(yīng)用,計(jì)量圓光柵的制造,檢測及精度評定和測量系統(tǒng)所涉及的關(guān)鍵技術(shù)以及計(jì)量圓光柵的發(fā)展動(dòng)向作了綜述性的分析與評論,從而引出了論文的主要研究內(nèi)容,即計(jì)量圓光柵的原理,制造及檢測技術(shù)研究. 論文對光柵莫爾條紋形成的幾何原理進(jìn)行了簡要介紹;對計(jì)量圓光柵莫爾條紋方程,莫爾光場和幾種典型的圓光柵莫爾條紋進(jìn)行了概述;對計(jì)量圓光柵及測量系統(tǒng)的關(guān)鍵問題進(jìn)行了分析,比較與討論,對計(jì)量圓光柵及測量系統(tǒng)的判向信號及判向電路設(shè)計(jì)進(jìn)行了討論;對圓光柵測量系統(tǒng)莫爾信號的光電轉(zhuǎn)換以及光電轉(zhuǎn)換過程中的溫度漂移誤差和誤差補(bǔ)償問題進(jìn)行了分析與研究,在分析現(xiàn)有光電轉(zhuǎn)換電路不足的同時(shí),提出了一種結(jié)構(gòu)簡單,精度高,能有效進(jìn)行溫度漂移補(bǔ)償?shù)墓怆娹D(zhuǎn)換電路,并結(jié)合實(shí)際應(yīng)用的需要,給出了應(yīng)用實(shí)驗(yàn)的結(jié)果. 論文的一項(xiàng)重要工作是對計(jì)量圓光柵的光刻技術(shù)進(jìn)行了分析討論

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