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威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求

閱讀:624        發(fā)布時(shí)間:2021-8-3


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威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求


下面青島潔凈凈化技術(shù)小編列舉一項(xiàng)某公司的無塵車間工程內(nèi)容:

項(xiàng)目名稱:威海某半導(dǎo)體有限公司(由于考慮到客戶隱私,所以小編以某公司代替,望諒解)

項(xiàng)目地點(diǎn):威海

建筑面積:1000平方米

凈化等級:10萬級


半導(dǎo)體凈化車間潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)及要求半導(dǎo)體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求,環(huán)境中雜質(zhì)對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,而雜質(zhì)各式各樣,如金屬離子會破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能,塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等,所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對什么都必須嚴(yán)格控制。它可以即時(shí)檢測到單位體積空氣中的顆粒物數(shù)量,還能實(shí)現(xiàn)7*24實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程自動監(jiān)測,并以其快速、準(zhǔn)確的特點(diǎn),在電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工等潔凈室環(huán)境自動監(jiān)測系統(tǒng)中得到了廣泛的應(yīng)用。


潔凈室耗能為一般系統(tǒng)之5~10倍,在國內(nèi)自產(chǎn)能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴(yán)重的情況下,如何提升無塵室系統(tǒng)的節(jié)能技術(shù),以提升生產(chǎn)力與競爭力,是我們必須面對的課題。另外對潔凈廠房的潔凈度進(jìn)行定期的人工巡檢存在人力資源浪費(fèi)的缺點(diǎn),為了克服人工檢測耗時(shí)費(fèi)力的缺點(diǎn),我們可以采用CW-RPC系列多通道遠(yuǎn)程遙測激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器及遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)對潔凈廠房進(jìn)行7*24實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的精準(zhǔn)監(jiān)測,能夠極大的提升我們的工作效率,節(jié)省人力成本。

威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求有幾點(diǎn):

1.內(nèi)部要保持大于一大氣壓的環(huán)境,以確保粉塵只出不進(jìn)。所以需要大型鼓風(fēng)機(jī),將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中。

2.為保持溫度與濕度的恒定,大型空調(diào)設(shè)備須搭配于前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)中。換言之,鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,冷氣空調(diào)也開多久。

3.所有氣流方向均由上往下為主,盡量減少突兀之室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺擺放調(diào)配,使粉塵在潔凈室內(nèi)回旋停滯的機(jī)會與時(shí)間減至低程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人事物進(jìn)出,都必須經(jīng)過空氣吹浴的程序,將表面粉塵先行去除。

6.人體及衣物的毛屑是一項(xiàng)主要粉塵來源,為此務(wù)必嚴(yán)格要求進(jìn)出使用人員穿戴無塵衣,除了眼睛部位外,均需與外界隔絕接觸 (在次微米制程技術(shù)的工廠內(nèi),工作人員幾乎穿戴得像航天員一樣。) 當(dāng)然,化妝是在禁絕之內(nèi),鉛筆等也禁止使用。

7.除了空氣外,水的使用也只能限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子,如鉀、鈉離子污染金氧半 (MOS) 晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水以電阻率來定義好壞,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;為此需動用多重離子交換樹脂、RO逆滲透、與UV紫外線殺菌等重重關(guān)卡,才能放行使用。由于去離子水是的溶劑與清潔劑,其在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!

8.潔凈室所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺空壓所需要的,都得使用氮?dú)?(98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮!



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青島潔凈凈化技術(shù)有限公司主要從事凈化工程的設(shè)計(jì)、無塵車間施工、潔凈廠房檢測工程后期裝修、設(shè)計(jì)及空調(diào)通風(fēng)設(shè)備系統(tǒng)安裝。公司設(shè)計(jì)承建各種不同類型的凈化廠房、凈化車間、無塵車間及無菌室,標(biāo)準(zhǔn)要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、檢測等綜合性成套服務(wù)。


標(biāo)簽:威海無塵車間裝修,威海凈化工程,威海潔凈室,威海凈化車間


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