改造淄博桶裝水無菌車間施工方案細(xì)節(jié)
改造淄博桶裝水無菌車間施工方案細(xì)節(jié)
說起改造桶裝水無菌車間施工,對(duì)于無菌車間的設(shè)計(jì)方案有很多,一般建議采用適合桶裝水無菌車間后期使用。
依據(jù)無菌車間的氣體循環(huán)特點(diǎn),無菌車間可分成三種種類:含有率氣路系統(tǒng)軟件的循環(huán)空調(diào),帶濕密封性系統(tǒng)軟件的循環(huán)電扇和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
改造淄博桶裝水無菌車間施工方案細(xì)節(jié)
一種方式普遍用適度性需求需要的無菌車間工程施工設(shè)計(jì)方案。針對(duì)大規(guī)模和高質(zhì)量的清理生產(chǎn)車間,存有例如高運(yùn)作成本費(fèi)和過多室內(nèi)空間的缺陷。
第二方式的工程施工設(shè)計(jì)方案能夠考慮大規(guī)模集成電路生產(chǎn)制造無塵車間的需求,但運(yùn)作成本增加,潔凈室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難,系統(tǒng)更新艱難,實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力極低。
第三個(gè)FFU循環(huán)系統(tǒng)不但節(jié)約了實(shí)際操作室內(nèi)空間,安全系數(shù)高,運(yùn)作低成本,實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力高,并且能夠隨時(shí)隨地更新和調(diào)節(jié),不危害制造。為考慮半導(dǎo)體設(shè)備的必須,半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)中的FFU循環(huán)系統(tǒng)逐步形成關(guān)鍵的清潔工程施工設(shè)計(jì)方案。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特性是:全部潔凈室由負(fù)壓層、加工工藝輔助層和送風(fēng)安全通道構(gòu)成。FFU出示循環(huán)氣體的驅(qū)動(dòng)力。將空氣清新和循環(huán)氣體混和后,根據(jù)超送風(fēng)口將空氣清新和循環(huán)氣體送進(jìn)加工工藝層和加工工藝輔助層,負(fù)壓層相對(duì)性于加工工藝層為空氣壓力。
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