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光刻膠儲(chǔ)存條件
光刻膠對(duì)光敏感，在光照或高溫條件下其性能會(huì)發(fā)生變化。光刻膠在儲(chǔ)存過(guò)程中會(huì)老化，因此通常保存在防光的棕色玻璃試劑瓶中（部分電子束膠由于對(duì)紫外波段不感光，有可能直接使用白色塑料瓶包裝），冷藏保存，并且紫外光刻膠只能在黃光（λ> 500 nm）下進(jìn)行處理。通常一款光刻膠的失效日期和建議的存儲(chǔ)溫度會(huì)標(biāo)注產(chǎn)品標(biāo)簽上。如果保持在這些溫度下，未開(kāi)封的光刻膠將穩(wěn)定到有效期（通常是生產(chǎn)后的2年，視產(chǎn)品不同略有不同）。通常光刻膠銷售時(shí)會(huì)有一個(gè)承諾有效日期，這個(gè)日期往往會(huì)小于瓶示質(zhì)保期。需要區(qū)分。
溫度：對(duì)于絕大多數(shù)紫外光刻膠而言，通常建議的保存條件是5-10℃下保存（除制造商要求的特殊保存溫度外）。如果未打開(kāi)的瓶子在低于最佳溫度的條件下（例如，在5 – 8°C的溫度下與建議的10 – 18°C的溫度相比）存儲(chǔ)，則可以使一些光刻膠，在超過(guò)其有效期限外還可以保持光刻膠的特性并使用。
如果頻繁打開(kāi)光刻膠試劑瓶會(huì)導(dǎo)致溶劑蒸發(fā)，光刻膠會(huì)增稠并因此產(chǎn)生較厚的膜。對(duì)于膜厚為1.4 µm的光刻膠，僅損失1％的溶劑就已經(jīng)導(dǎo)致4％的膜厚，因此帶來(lái)的影響是需要更高的曝光劑量。所以建議按照實(shí)際使用的量進(jìn)行購(gòu)買(mǎi)相應(yīng)包裝規(guī)格的光刻膠。
如果已經(jīng)購(gòu)買(mǎi)了較大包裝的光刻膠，可以分裝在干凈的小瓶中，減小光刻膠開(kāi)蓋次數(shù)，大瓶子應(yīng)該密封好并保存于冷藏室中。另外，小瓶光刻膠可以使用錫箔紙包裹，并備注好相關(guān)信息存儲(chǔ)。瓶子的清洗步驟：①丙酮(去除有機(jī)雜質(zhì));②異丙醇(清洗污染的丙酮?dú)埩粑?。揮發(fā)較慢的異丙醇會(huì)破壞光刻膠，因此在裝入光刻膠之前必須保證瓶中無(wú)異丙醇?xì)埩簟?/span>
試劑瓶的選擇：只有合適的塑料(無(wú)染色的特氟龍，無(wú)增塑劑的HD-PE)或低鈉玻璃容器可用于儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移和分配光刻膠。光刻膠分裝后到使用前，根據(jù)粘度的不同，建議等待幾個(gè)小時(shí)，以便引入的氣泡能夠脫氣，從而避免在在涂膠時(shí)出現(xiàn)氣孔等缺陷。
稀釋：稀釋光刻膠會(huì)加速光刻膠的老化，因此建議合理計(jì)算使用稀釋膠的量，按需求稀釋，避免出現(xiàn)浪費(fèi)。另外，稀釋?xiě)?yīng)該盡快完成，避免引入顆粒污染物。最后和分裝一樣，稀釋的過(guò)程中不可避免的引入了氣泡，需要用過(guò)靜置一段時(shí)間，讓氣泡逸出后方可使用。
從冰箱中取出后，在任何情況下都不要立即打開(kāi)瓶子，因?yàn)榭諝庵械乃麜?huì)凝結(jié)在過(guò)冷的光刻膠表面，后續(xù)會(huì)形成氣泡等缺陷。因此打開(kāi)之前，應(yīng)將瓶子在室溫中自然恢復(fù)至室溫再打開(kāi)瓶蓋。
對(duì)于顯影液：水溶性顯影液應(yīng)該防止冷凍，即使偶爾的非存儲(chǔ)條件也并不會(huì)導(dǎo)致顯影液失效。有機(jī)顯影液，請(qǐng)按照瓶示存儲(chǔ)條件存儲(chǔ)。對(duì)于一些對(duì)溫度感的有機(jī)溶劑如二甲基亞砜（DMSO）的熔點(diǎn)剛好低于室溫，所以可能會(huì)在較冷的房間里冷凍。解凍可能需要幾天時(shí)間，但解凍后產(chǎn)品仍可照常使用。
對(duì)于添加緩沖試劑的氫氟酸(BOE)，在較低溫度的環(huán)境下易結(jié)晶，當(dāng)然這取決于氟化氫濃度。 解凍后BOE任然可以使用。但是由于這些小晶體在幾天后仍然存在，它們會(huì)沉淀在基片上并形成顆粒，所以處理時(shí)必須小心。
