善準(zhǔn)等離子清洗機(jī)詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

名稱：等離子清洗機(jī)

品牌：廣州善準(zhǔn)科技有限公司

型號(hào)：VP-R3

技術(shù)規(guī)格：

1、腔體材質(zhì)：石英玻璃

2、腔體容量：Φ150×200Lmm

3、*射頻電源功率：160W

4、*射頻頻率：13.56MHz

5、頻率偏移量：小于0.2KHz

6、等離子體轟擊：從四周向中間

7、等離子體激發(fā)：觸摸屏一鍵自動(dòng)啟動(dòng)

8、*腔體內(nèi)溫度：滿功率運(yùn)行30分鐘腔體溫度＜32℃

9、清洗時(shí)間：0- 1800 s 可調(diào)，精確到1秒

10、功率調(diào)節(jié)：高中低三檔可調(diào)

11、顯示屏：4.3英寸觸摸屏

12、*操作控制：觸摸屏控制，并提供中英文兩種操作界面

13、氣體流量計(jì)：高精密2路浮子流量計(jì)

14、提供進(jìn)氣通路：兩路進(jìn)氣，氣體流量 0-300ml/min可調(diào)（常用氣體：氬氣，氧氣，氮?dú)猓瑲錃?，其他混合氣體）

15、進(jìn)氣管：兩根6x4PU管，尾端配6轉(zhuǎn)6快擰接頭

16、泄壓：清洗完成自動(dòng)泄壓，泄壓時(shí)長(zhǎng)和速度可調(diào)。可提供氮?dú)饣蚱渌麣怏w泄壓通道（選配）

17、真空泵真空度：0.5Pa

18、抽速：4m3/h

19、噪音：52dB

20、抽真空時(shí)間：?jiǎn)?dòng)到發(fā)出輝光≤50秒

21、*真空檢測(cè)：數(shù)字顯示，實(shí)時(shí)觀察腔體真空度狀態(tài)

22、*泄漏檢測(cè)：觸摸屏上有一鍵泄漏檢測(cè)功能

23、冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

24、腔體門：帶可視窗高強(qiáng)度鋁合金，并在觸摸屏上自動(dòng)識(shí)別開(kāi)/關(guān)

25、*真空泵控制：主機(jī)與真空泵聯(lián)動(dòng)，可在主機(jī)觸摸屏控制真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉

26、供電電源：AC220V/50Hz

27、箱體平衡：減震橡膠腳杯

28、機(jī)箱尺寸LxWxH：560x450x360mm

29、*溫度控制：在等離子激發(fā)頻率為13.56MHz的情況下，在滿功率運(yùn)行30分鐘后清洗腔內(nèi)溫度不高于32℃，清洗過(guò)程不損傷樣品本身的性能

30、*質(zhì)保期：主機(jī)2年，真空泵1年

31、配置：主機(jī)VP-R3、雙級(jí)旋片真空泵、2米波紋管、清洗托盤、說(shuō)明書、合格證、保修卡、外接氣管2根