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愛德華iH系列干式真空泵在半導體行業(yè)的應用
- 半導體行業(yè)簡介
半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應用、大功率電源轉換等領域應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。無論從科技或是經濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品，如計算機、yi動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯(lián)。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上ju影響力的一種。
- 半導體應用
半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應用、大功率電源轉換等領域應用。
光伏應用
半導體材料光生伏*應是太陽能電池運行的基本原理。現(xiàn)階段半導體材料的光伏應用已經成為一大熱門 ，是目前世界上增長kuai、發(fā)展hao的清潔能源市場。太陽能電池的主要制作材料是半導體材料，判斷太陽能電池的優(yōu)劣主要的標準是光電轉化率，光電轉化率越高 ，說明太陽能電池的工作效率越高。根據(jù)應用的半導體材料的不同，太陽能電池分為晶體硅太陽能電池、薄膜電池以及III-V族化合物電池。
照明應用
LED是建立在半導體晶體管上的半導體發(fā)光二極管 ，采用LED技術半導體光源體積小，可以實現(xiàn)平面封裝，工作時發(fā)熱量低、節(jié)能高效，產品壽命長、反應速度快，而且綠色環(huán)保無污染，還能開發(fā)成輕薄短小的產品，一經問世 ，就迅速普及，成為新一代的優(yōu)質照明光源，目前已經廣泛的運用在我們的生活中。如交通指示燈、電子產品的背光源、城市夜景美化光源、室內照明等各個領域 ，都有應用。
大功率電源轉換
交流電和直流電的相互轉換對于電器的使用十分重要 ，是對電器的必要保護。這就要用到等電源轉換裝置。碳化硅擊穿電壓強度高 ，禁帶寬度寬，熱導性高，因此SiC半導體器件十分適合應用在功率密度和開關頻率高的場合，電源裝換裝置就是其中之一。碳化硅元件在高溫、高壓、高頻的又一表現(xiàn)使得現(xiàn)在被廣泛使用到深井鉆探，發(fā)電裝置中國的逆變器，電氣混動汽車的能量轉化器，輕軌列車牽引動力轉換等領域。由于SiC本身的優(yōu)勢以及現(xiàn)階段行業(yè)對于輕量化、高轉換效率的半導體材料需要，SiC將會取代Si，成為應用guangfan的半導體材料。
- 半導體制造工藝流程
半導體產品的加工過程主要包括晶圓制造（前道，F(xiàn)ront-End）和封裝（后道，Back-End）測試，隨著*封裝技術的滲透，出現(xiàn)介于晶圓制造和封裝之間的加工環(huán)節(jié)，稱為中道（Middle-End）。由于半導體產品的加工工序多，所以在制造過程中需要大量的半導體設備和材料。半導體元件制造過程可分為：
（一）前段(Front End)制程
晶圓處理制程(Wafer Fabrication）;簡稱（Wafer Fab)
晶圓針測制程(Wafer Probe)
（二）后段(Back End )
構裝(Packaging )
測試制程(Initial Test and Final Test)
1、晶圓處理制程
晶圓處理制程之主要工作為在硅晶圓上制作電路與電子元件(如電晶體、電容體、邏輯閘等)，為上述各制程中所需技術fu雜且資金投入多的過程，以微處理(Microprocessor)為例，其所需處理步驟可達數(shù)百道，而其所需加工機臺*且昂貴，動輒數(shù)千萬一臺，其所需制造環(huán)境為為一-溫度、濕度與含塵(Particle) 均需控制的無塵室(Clean-Room) ，雖然詳細的處理程序是隨著產品種類與所使用的技術有關;不過其基本處理步驟通常是晶圓先經過適當?shù)那逑?Cleaning) 之后,接著進行氧化(Oxidation) 及沉積，后進行微影、蝕刻及離子植入等反覆步驟，以完成晶圓上電路的加工與制作。
2、晶圓針測制程
經過Wafer Fab之制程后，晶圓上即形成一格格的小格，我們稱之為晶方或是晶粒(Die)，在一般情形下，同一-片晶圓上皆制作相同的晶片，但是也有可能在同- -片晶圓上制作不同規(guī)格的產品;這些晶圓必須通過晶片允收測試，晶粒將會一- -經過針測(Probe)儀器以測試其電氣特性，而不合格的的晶粒將會被標上記號(Ink Dot)，此程序即稱之為晶圓針測制程(WaferProbe)。然后晶圓將依晶粒為單位分割成一粒粒獨立的晶粒。
3、IC構裝制程
IC構裝襲程(Packaging) :利用塑膠或陶瓷包裝晶粒與配線以成積體電路
目的:是為了襲造出所生產的電路的保護層，避免電路受到機械性刮傷或是高溫破壞。
- 真空泵用于半導體制造行業(yè)
真空泵作為半導體制造行業(yè)的一種主要的生產設備，愈來愈要求安全可靠。當烴油密封的旋轉泵用于光刻去膠等有氧的場合，有時會發(fā)生爆炸。原子化的油霧、熱的油蒸氣、摩擦、壓縮、較高的溫度、外物、可能的靜電等，一旦與氧結合便可能危害環(huán)境。而這些因素，真空泵里都有。在泵里采用氮等惰性氣體作為氣爆，并用氮來減小油箱里的氧濃度(使氧濃度低于 25%)，可使發(fā)生爆炸的危險性減小。這個方法已被半導體制造行業(yè)采用.新的真空泵將更能適應集成電路制造工藝中的腐蝕要求，例如可用陶瓷、耐熔金屬和貴金屬制造。半導體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕， 真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序。
- 半導體制造行業(yè)推薦阿*愛德華iH干式真空泵
1.阿*愛德華iH系列介紹
Edwards 高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明，可以按照gao工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
1.阿*愛德華iH系列型號：IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800、IH1800hTX
2.阿*愛德華iH系列功能和優(yōu)勢
（1）優(yōu)化了設施消耗;
（2）無需預防性維護;
（3）懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理;
（4）在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性;
（5）耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體;
（6）較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證;
（7）整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。