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各類真空泵適用的工藝類型
隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。使用企業(yè)需根據(jù)各自的使用工況、真空度要求等方面因素考慮如何選取真空泵。
歸納一下各類真空泵適用的工藝類型：
1、水環(huán)真空泵：適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲(chǔ)藏、真空輸送、真空成型等工藝。
2、往復(fù)真空泵：適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復(fù)真空泵與水環(huán)真空泵的使用工藝基本相同。但是，往復(fù)真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。
3、油封機(jī)械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封機(jī)械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用的量大面廣。
4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)：適用于真空燒結(jié)、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。決大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級(jí)泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業(yè)。
5、油增壓泵：適用于真空冶煉、真空燒結(jié)、真空釬焊、真空熱處理等工藝。它與機(jī)械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。
6、油擴(kuò)散泵：適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生產(chǎn)電真空器件、宇宙空間模擬、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適合于抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級(jí)泵使用。
7、干式真空泵(羅桿泵、渦旋泵、爪形泵)：適用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。
8、吸附泵：適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。
9、鈦泵(濺射離子泵、升華泵)：適用于真空鍍膜、電真空器件、大規(guī)模集成電路、表面物理、表面化學(xué)、熱核物理、等離子體物理、超導(dǎo)技術(shù)等工作中。
10、分子泵：適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器、熱核反應(yīng)、宇航技術(shù)等工作中。
11、水噴射泵：適合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域。
12、水蒸氣噴射泵：適合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空回潮等工業(yè)領(lǐng)域。
13、低溫泵：適合于真空鍍膜、表面物理、超導(dǎo)技術(shù)、宇航技術(shù)等領(lǐng)域中。
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