氦質(zhì)譜檢漏是設(shè)備出廠前密封性檢測的關(guān)鍵環(huán)節(jié),采用氦氣作為示蹤氣體,通過質(zhì)譜儀檢測微量氦離子信號實現(xiàn)高精度泄漏定位。其靈敏度可達10?13Pa·m3/s量級,適用于航天器、新能源電池等高要求場景。檢測時通過真空或正壓模式(如噴吹法、吸槍法)快速定位漏點,自動化系統(tǒng)可同步完成多工位檢測,效率提升50%以上。該技術(shù)能有效保障設(shè)備在高真空環(huán)境下的密封可靠性,已成為制造領(lǐng)域的質(zhì)量管控標(biāo)配。