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氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷技術(shù)

閱讀:2572      發(fā)布時間:2020-5-11
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1. 自我診斷技術(shù)

  自我診斷技術(shù)是在不停機或基本不拆機的情況下,通過各種檢測分析來判斷設備狀態(tài)是否正常,異?;蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預測。

  自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設備的結(jié)果狀態(tài)信息,即根據(jù)設備在各種工況下,表現(xiàn)出來的精度超差,零點漂移,內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴重程度,其本質(zhì)是一個包含信號采集、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目標是確保產(chǎn)品在功能、精度、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運行

2. 自我診斷技術(shù)在氣體質(zhì)量流量控制器中的應用

  半導體設備對氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點就是高精度,傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時間后,由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因,有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象,但由于檢測條件的限制,用戶無法對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進行檢驗。因此需要研究一種自我診斷技術(shù),通過該技術(shù),用戶可以隨時對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進行檢驗。

  增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能,需要通過初級流量測量原理獲得流量。若Qm為氣體的質(zhì)量流量,可以根據(jù)壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時間的變化曲線,如圖2所示:

 通過該圖可以建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對應表,進行自我診斷過程中,與該表格信息進行對比,可通過兩條曲線的相似度判定,系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內(nèi)。自我診斷技術(shù)大大提高了氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的可靠性,完善了系統(tǒng)功能。

3 自我診斷技術(shù)優(yōu)勢

  采用自我診斷技術(shù)的智能分析,質(zhì)量流量控制器能夠做出智能化的檢測,對該設備可能出現(xiàn)的故障進行預測,在預測的基礎之上,自動予以消除或者做出報警反映,這一過程對于產(chǎn)品本身使用中的維護而言,能夠取得更好的經(jīng)濟效益,不但工作人員的工作量可以得到有效的降低,自診結(jié)果也能夠得到很全面地提供,維護人員還可以對應的進行更加完善、有效的維護方案制定,維修保養(yǎng)地開展和實施就會更加的理

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