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真空泵

①使用中注意事項

經(jīng)常注意油位。
泵起動后再打開閥門。
經(jīng)常注意泵運轉(zhuǎn)是否正常，有無特殊聲響，電機是否超負荷運轉(zhuǎn)。
注意泵溫升不超過40℃。
嚴禁用煤油、汽油、酒精等對泵作非拆卸的清洗。
若泵長期擱置不用，應將油放盡，然后注入新油。

②換油期

新泵跑合運轉(zhuǎn)后，可能有少量金屬碎屑和其他雜質(zhì)在油箱中沉積起來，對泵的性能不會有影響，但以除去為宜，推薦在使用100小時后，把油放出，把含有雜質(zhì)的少部分油除去，其余的清潔油仍可用濾網(wǎng)過濾后加入泵內(nèi)，酌量補充一點新油，以后的換油期，需油用戶根據(jù)使用情況和效果酌情決定。原則為一年更換一次（約2000小時）。

③換油方法

先開泵運轉(zhuǎn)約半小時，待油變稀，停泵從放油孔放油。再敞開進氣口運轉(zhuǎn)10~20秒，此間可以吸氣口緩緩加入少量新油。以更換泵腔內(nèi)的存油，如出來的油很臟，后者可重復進行，不可用清洗液沖洗泵內(nèi)存油和雜質(zhì)。

④檢修應有專門人員進行。

2、SF6壓縮機

①使用注意事項

因啟動過頻會影響電機壽命，所以每小時啟動次數(shù)應盡量少于5次，每次停機時間應在3分鐘以上。

盡量避免壓縮機較長時間真空運轉(zhuǎn)，故回收時要注意觀察壓縮機進氣口壓力，當回收初壓力(M1)顯示為零表壓，達到預定值，及時停止壓縮機回收。
運轉(zhuǎn)中的油面應保持在視油鏡范圍內(nèi)，即1/4-3/4位置。缺油停止運行。