超純水（UPW）生產(chǎn)的一致性對(duì)微電子制造至關(guān)重要，并且有助于保護(hù)產(chǎn)品質(zhì)量。除基本的超純水監(jiān)測(cè)以外，在如何對(duì)偏離趨勢(shì)的結(jié)果迅速做出反應(yīng)，并進(jìn)行有效的故障排查和過(guò)程控制方面，微電子工廠也面臨著挑戰(zhàn)。其他關(guān)注領(lǐng)域包括，確保化學(xué)品純度以改善工藝性能和批量生產(chǎn)，以及監(jiān)測(cè)廢水和回用水。
微電子制造商在生產(chǎn)中會(huì)遇到各種有機(jī)污染物，并經(jīng)歷各種挑戰(zhàn)，包括：
給水和高純工藝化學(xué)品中的低ppm級(jí)濃度
最終拋光前的ppt級(jí)濃度
回用水和廢水應(yīng)用中復(fù)雜的樣品基質(zhì)
監(jiān)測(cè)硅膠等有害顆粒物的關(guān)鍵需求
憑借Sievers®總有機(jī)碳TOC分析儀和超純水（UPW）硼分析儀，Sievers分析儀能夠提供適合微電子制造工藝每一個(gè)步驟的分析解決方案。鑒于其寬廣的分析范圍和應(yīng)用的多功能性，Sievers TOC分析儀可用于超純水、工藝化學(xué)品純度、回用水和廢水處理監(jiān)測(cè)。由于在二氧化硅之前，硼先從樹(shù)脂床中泄漏出來(lái)，因此Sievers超純水硼分析儀可通過(guò)檢測(cè)硼濃度升高，實(shí)現(xiàn)二氧化硅的控制和樹(shù)脂床的管理。
有兩種常用于監(jiān)測(cè)低濃度微電子應(yīng)用中TOC的檢測(cè)技術(shù)：膜電導(dǎo)率（Membrane Conductometric）和直接電導(dǎo)率（Direct Conductometric）。Sievers的產(chǎn)品涵蓋了這兩種技術(shù)，此外還提供適合于更復(fù)雜基質(zhì)（如工藝化學(xué)品和廢水）的濕化學(xué)氧化法。
我們可提供以下儀器和產(chǎn)品：
Sievers M9e和M500e TOC分析儀
采用Sievers膜電導(dǎo)率檢測(cè)技術(shù)
Sievers膜電導(dǎo)率技術(shù)消除了大多數(shù)超純水系統(tǒng)中所存在的鹵代有機(jī)物和胺引起的假陽(yáng)性和假陰性
Sievers CheckPointe TOC傳感器
采用直接電導(dǎo)率檢測(cè)技術(shù)
提供了一個(gè)適合于非關(guān)鍵超純水監(jiān)測(cè)點(diǎn)的經(jīng)濟(jì)型選擇
用于快速診斷和故障排查的工具
Sievers InnovOx TOC分析儀
采用非色散紅外（NDIR）檢測(cè)和超臨界水氧化（SCWO）技術(shù)
可以準(zhǔn)確、可靠地檢測(cè)濃酸、堿和純化學(xué)品中的痕量有機(jī)物
可以監(jiān)測(cè)廢水和高達(dá)30%的鹵水
Sievers分析儀的產(chǎn)品組合為微電子制造過(guò)程的每個(gè)步驟提供分析解決方案。
給水、超純水和回用水系統(tǒng)監(jiān)測(cè)
Sievers M9e在線和便攜式TOC分析儀專為最復(fù)雜的水系統(tǒng)和應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該分析儀的分析范圍為0.03 ppb至50 ppm，使用膜電導(dǎo)率技術(shù)，精確檢測(cè)系統(tǒng)給水、反滲透產(chǎn)水和最終產(chǎn)水中的TOC濃度。使用可選配的Turbo模式，僅需4秒分析時(shí)間，Sievers M9e分析儀是適合于回用水檢測(cè)的理想故障排查工具。
超純水/拋光循環(huán)回路監(jiān)測(cè)
Sievers M500e和上一代500 RLe TOC分析儀設(shè)計(jì)用于低濃度TOC檢測(cè)。這兩款分析儀的操作范圍為0.03 ppb至2.5 ppm，是目前市場(chǎng)上無(wú)試劑、在線超純水TOC分析儀的Z低檢測(cè)限。
2020年，Sievers推出了500 RLe的下一代產(chǎn)品Sievers M500e分析儀，改進(jìn)包括：
沖洗時(shí)間縮短50%，在現(xiàn)場(chǎng)低濃度校準(zhǔn)（250 ppb）或年度維護(hù)后，該儀器可更快投入生產(chǎn)，回到工作狀態(tài)
10英寸觸摸屏，可實(shí)現(xiàn)更快、更直觀的設(shè)置和操作
數(shù)字化升級(jí)，如遠(yuǎn)程訪問(wèn)、WiFi功能，改進(jìn)了數(shù)據(jù)傳輸和管理選項(xiàng)，以及逐步的向?qū)?/p>
改進(jìn)了電導(dǎo)率范圍（0.01-800 µS/cm），同時(shí)也可以顯示為電阻率
使用異丙醇（IPA）的100 ppb確認(rèn)協(xié)議
自適應(yīng)自動(dòng)調(diào)零，可根據(jù)先前的結(jié)果自動(dòng)預(yù)測(cè)頻率
另一款微電子應(yīng)用的基本儀器是Sievers超純水硼分析儀。Sievers硼分析儀可預(yù)測(cè)混床耗盡，優(yōu)化EDI性能，并控制拋光回路的硼濃度。在釋放二氧化硅之前，Sievers硼分析儀可檢測(cè)到硼濃度升高，從而有助于防止二氧化硅泄漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著減少運(yùn)營(yíng)費(fèi)用，并保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。
超純水系統(tǒng)診斷和故障排查
具有0.05到1000 ppb的分析范圍，Sievers CheckPointe是適用于解決問(wèn)題和診斷的理想儀器。該儀器采用直接電導(dǎo)率法，具有優(yōu)異的輕便性（3.6千克），并且：
能夠接受加壓或非加壓的樣品
可用于監(jiān)測(cè)分配點(diǎn)、生產(chǎn)工具或尚未建立監(jiān)測(cè)的任意一點(diǎn)
根據(jù)一臺(tái)參照TOC分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的低TOC濃度時(shí)，傳感器對(duì)傳感器的匹配
化學(xué)品和廢水純度
為了實(shí)現(xiàn)工藝性能和優(yōu)化批量生產(chǎn)，在過(guò)氧化氫、氫氧化鈉、氫氧化銨、硫酸和其他蝕刻/電鍍化學(xué)品等工藝化學(xué)品中，控制TOC至關(guān)重要。Sievers InnovOx TOC分析儀非常適用于此類監(jiān)測(cè)以及廢水和回用水中的有機(jī)物監(jiān)測(cè)。
Sievers分析儀
及其在微電子制造中的應(yīng)用匯總
參考文獻(xiàn)
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