您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
六氟化硫氣體傳感器的優(yōu)勢體現(xiàn)在哪里呢？
閱讀：749 發(fā)布時間：2020-7-9
六氟化硫氣體傳感器的優(yōu)勢體現(xiàn)在哪里呢？
從檢測氣體種類上，通常分為可燃?xì)怏w傳感器（常采用催化燃燒式、紅外、熱導(dǎo)、半導(dǎo)體式）、有毒氣體傳感器（一般采用電化學(xué)、金屬半導(dǎo)體、光離子化、火焰離子化式）、有害氣體傳感器（常采用紅外、紫外等）、氧氣（常采用順磁式、氧化鋯式）等其它類傳感器。
從使用方法上，通常分為便攜式氣體傳感器和固定式氣體傳感器。
從獲得氣體樣品的方式上，通常分為擴(kuò)散式氣體傳感器（即傳感器直接安裝在被測對象環(huán)境中，實(shí)測氣體通過自然擴(kuò)散與傳感器檢測元件直接接觸）、吸入式氣體傳感器（是指通過使用吸氣泵等手段，將待測氣體引入傳感器檢測元件中進(jìn)行檢測。根據(jù)對被測氣體是否稀釋，又可細(xì)分為*吸入式和稀釋式等）。
從分析氣體組成上，通常分為單一式氣體傳感器（僅對特定氣體進(jìn)行檢測）和復(fù)合式氣體傳感器（對多種氣體成分進(jìn)行同時檢測）。
按傳感器檢測原理，通常分為熱學(xué)式氣體傳感器、電化學(xué)式氣體傳感器、磁學(xué)式氣體傳感器、光學(xué)式氣體傳感器、半導(dǎo)體式氣體傳感器、氣相色譜式氣體傳感器等。
六氟化硫氣體傳感器采用非色散紅外(NDIR)檢測技術(shù)，傳感器采用進(jìn)口高精度紅外發(fā)射探測器及工業(yè)級高穩(wěn)定單片機(jī),具有抗其他氣體干擾，長期穩(wěn)定性好，壽命長、精度高等特點(diǎn)。適用于長時間在線檢測，廣泛應(yīng)用于電力氣體檢漏、在線監(jiān)測、工業(yè)過程分析等多種場合。
六氟化硫氣體傳感器的優(yōu)勢在于：
(1)微型化：MEMS器件體積小，一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計(jì)量單位，重量輕、耗能低。同時微型化以后的機(jī)械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短等優(yōu)點(diǎn)。MEMS更高的表面體積比(表面積比體積)可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/div>
(2)硅基加工工藝，可兼容傳統(tǒng)IC生產(chǎn)工藝：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢，同時可以很大程度上兼容硅基加工工藝。
(3)批量生產(chǎn)：以單個5mm×5mm尺寸的MEMS傳感器為例，用硅微加工工藝在一片8英寸的硅片晶元上可同時切割出大約1000個MEMS芯片，批量生產(chǎn)可大大降低單個MEMS的生產(chǎn)成本。
(4)集成化：一般來說，單顆MEMS往往在封裝機(jī)械傳感器的同時，還會集成ASIC芯片，控制MEMS芯片以及轉(zhuǎn)換模擬量為數(shù)字量輸出。同時不同的封裝工藝可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。
(5)多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子、機(jī)械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科，并集約了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多成果。