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壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。
此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。 壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。
其基片可直接作為測量傳感元件，擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。
當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時，各電阻值將發(fā)生變化，電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片，硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視，尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用wei普遍。
壓阻式壓力傳感器產(chǎn)品推薦：
美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - 27AND37
美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 27AND37 ，它采用 Measurement Specialties 的專有 UltraStable™ 沖模來提供大溫度范圍內(nèi)的出色性能和長期穩(wěn)定性。 0-15 到 0-250 psi 的測量儀和壓差范圍可用。
美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - MS4425
MS4425 是一款溫度補償、硅壓阻式壓力傳感器，采用雙列直插式封裝，主要用于要求出色性能和長期穩(wěn)定性的成本敏感型應(yīng)用。
美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - MS4426
美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 MS4426 是一款溫度補償、壓阻式硅壓力傳感器，采用雙列直插式封裝，主要用于要求出色性能和長期穩(wěn)定性的成本敏感型應(yīng)用。
硅壓阻式壓力傳感器 - MS5534C
MS5534C硅壓阻式壓力傳感器采用*的ADC模數(shù)轉(zhuǎn)換IC，提供16位的壓力和溫度數(shù)字輸出。傳感器還提供6個可讀系數(shù)用于高精度軟件校正。MS5534C的主要特點是低電壓、低功耗，以及自動待機（ON/OFF）功能。
硅壓阻式壓力傳感器 - 1200系列
1200系列是經(jīng)過溫度補償?shù)墓鑹鹤枋綁毫鞲衅?，采用雙列直插封裝結(jié)構(gòu)。通過激光修正電阻實現(xiàn)大范圍的溫度補償，以及調(diào)節(jié)差動放大器的增益來校正傳感器的壓力靈敏度變化。
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