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真空閥門是指用于改變空氣流動方向、調(diào)節(jié)空氣流量以及切斷或連接真空系統(tǒng)中管道的真空系統(tǒng)部件。真空閥關(guān)閉部件用橡膠密封圈或金屬密封圈密封。
真空電磁閥由交流或者是直流電源控制打開和關(guān)閉。它可以利用電磁原理實(shí)現(xiàn)管道的真空處理。主要用于真空管道或帶真空泵的聯(lián)動控制系統(tǒng)。同時(shí)它由電磁鐵直接操作，并控制閥門的打開和關(guān)閉，并向真空容器中充入大氣，從而實(shí)現(xiàn)自動控制或遠(yuǎn)程控制。
實(shí)現(xiàn)電磁控制可以極大地影響管道系統(tǒng)的整體工作狀態(tài)，真空電磁閥的使用還可以有效避免其他不相關(guān)因素對管道的影響，從而對管道系統(tǒng)的工作狀態(tài)做出正確的調(diào)整。
當(dāng)真空電磁閥安裝在機(jī)械真空泵中時(shí)，閥和泵連接到同一電源，泵的打開和停止直接控制閥的打開和關(guān)閉。當(dāng)泵停止工作或電源突然切斷時(shí)，閥門會自動關(guān)閉真空系統(tǒng)，通過泵的進(jìn)氣口向泵腔內(nèi)充入空氣，防止泵油回流污染真空系統(tǒng)。
在使用真空閥門中重要的一點(diǎn)就是閥門的密封性能，它是指閥門各密封部分防止介質(zhì)泄漏的能力，這也是閥門重要的技術(shù)性能指標(biāo)。如果真空閥關(guān)閉不緊而出現(xiàn)泄漏情況，將影響閥門切斷介質(zhì)的能力。對于截?cái)嚅y，更是不允許泄漏。因?yàn)樾孤斐晌锪蠐p失，污染環(huán)境，甚至造成嚴(yán)重事故。對于易燃、易爆、有毒或放射性介質(zhì)，也是不允許出現(xiàn)泄漏情況的，因此閥門必須具有可靠的密封性能。
那么如何判斷真空閥門密封性的好壞呢？
使用熱導(dǎo)式氣體傳感器來檢測真空閥門的真空度，以此來保證真空閥門密封良好。法國Endetec 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601具有基于帕拉尼原理的真空度檢測，功耗比較低，壽命長和免維護(hù)等優(yōu)勢。該熱導(dǎo)式氣體傳感器適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制，同時(shí)，硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償。
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