iH1800愛德華半導體干泵維修

iH1800 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59040957

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59060945

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59042908

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59042945

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                     502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機額定功率             7.0 kW

油容量                  1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59042946

技術數(shù)據(jù) 

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                    1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59042957

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                    502 kg

極限功率輸入            4.1 kW

電機額定功率                   7.0 kW

油容量                       1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59062945

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機額定功率              7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

通過增加正常運行時間、減少對環(huán)境的影響以及良好的成本效益，iXM 低能耗干泵可為您的關鍵應用帶來真正的制程改進。

高效的根源機制可將輸入功率減少多達 60％，從而減少對環(huán)境的影響并降低總體使用成本

氣體阻隔技術和隔熱設計方面的改進使產品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍

先進的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性，延長真空泵使用壽命，并降低 CVD 工藝的功耗

緊湊輕巧的設計，加上極低的噪聲和振動，可提供更多的用途

采用 Xcede 技術，增強了耐腐蝕性。

半導體干泵用于重型應用的 iXH 系列

iXH 干泵系列為嚴苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立了新標準。

寬廣的溫度范圍使您可以對真空設備進行優(yōu)化，更大地減少冷凝和電鍍的副產物累積

iXH Mk2 干泵可在嚴苛的工藝中提供更長的使用壽命，并且可以顯著提高功效

創(chuàng)新的密封技術可以延長制程壽命并降低泄漏風險

采用 Xcede 技術，增強了耐腐蝕性。

iH1800愛德華半導體干泵維修