影像測(cè)量?jī)x的誤差來源
在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或者是二維平面坐標(biāo)的測(cè)量，測(cè)量時(shí)先對(duì)焦，后對(duì)準(zhǔn)，再讀數(shù)，后計(jì)算處理。讀書來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng)，對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源，因?yàn)?，基于影像的方法測(cè)量的儀器，如果被測(cè)件不能被有效的正確照明，則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外，環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。那么這些誤差是怎么來的呢？
1.光柵技術(shù)尺的誤差
2.工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來的誤差
3.工作臺(tái)兩側(cè)測(cè)量軸垂直帶來的誤差
4.顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶來的誤差
5.測(cè)量室溫度帶來的誤差
6.光源照明條件的變化帶來的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)的誤差
在這幾種因素中，前四項(xiàng)誤差是硬件誤差，在影像測(cè)量?jī)x制造過程中已經(jīng)形成并固定下來，一般無法改變；溫度影響帶來的誤差，通過控制測(cè)量室的溫度和等溫過程來減小其影響。
后一項(xiàng)常被忽視，而在實(shí)際測(cè)量中，當(dāng)光源照明條件改變時(shí)，直接影響被測(cè)量工件的照明效果和影像質(zhì)量，主要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過CCD接收，盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能，但亮度過大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小，當(dāng)亮度過低時(shí)，工件影像反而變大。
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