產(chǎn)品名稱：3D光學(xué)輪廓顯微鏡
產(chǎn)品型號(hào)：PZ-3010D
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：使用光學(xué)輪廓儀，集成了共聚焦計(jì)數(shù)和干涉測(cè)量技術(shù)，并具有薄膜測(cè)量能力，該系統(tǒng)可以用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。
可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。沒(méi)有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡(jiǎn)單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非?？斓臏y(cè)量速度，只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?/p>
產(chǎn)品功能：
※共聚焦
共聚焦輪廓儀可以測(cè)量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng)，可提供高對(duì)比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過(guò)表面上的每一個(gè)點(diǎn)，以此找出每個(gè)像素位置的對(duì)應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實(shí)現(xiàn)超高的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測(cè)量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測(cè)量斜率超過(guò)70°的光滑表面。neox具有*的光效，共聚焦算法可提供納米級(jí)的垂直方向重復(fù)性。超長(zhǎng)工作距離(SLWD)可測(cè)量高寬比較大、形狀較陡的樣品。
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