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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修：愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內應力能力，所以泵能提供更強的安全性。
日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制
程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內應力能力，所以泵能
提供更強的安全性。
真空泵不良現象及原因分析
1、不良現象：真空泵運行過載報警。
2、原因分析：
經對真空泵進行拆解， 發(fā)現以下幾個問題點：
不良現象 原因分析
(1)轉子軸套部磨損：
因軸承磨損導致轉子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
(2)泵內齒輪箱內積碳：
因泵軸承損壞，轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
(3)軸承磨損：
因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。
(4)軸封磨損:
因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
(5)軸套磨損:
因高溫運行，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
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