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在制造過程中，半導(dǎo)體表面用超純水清洗，用于去除殘余的酸離子，進而避免產(chǎn)生金屬腐蝕的現(xiàn)象，因此洗滌用水中的陰離子分析對于產(chǎn)品質(zhì)量控制至關(guān)重要。這需要在幾個PPt水平下進行陰離子檢測。下圖所示的是應(yīng)用離子色譜儀對半導(dǎo)體洗滌用水中的微量無機離子的分析。

 

分析靈敏度進一步提高 
優(yōu)良的擴展性和節(jié)省空間的設(shè)計 
可對應(yīng)抑制型/非抑制型檢測 
支持有效性