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弗萊貝格X-ray Diffractometer

時(shí)間:2020-9-14閱讀:1647

弗萊貝格X-ray Diffractometer
使用X 射線衍射儀XRD  進(jìn)行晶圓棒,晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制
晶棒定向 |  晶圓片分析|  石英片 分選
定向:
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z

弗萊貝格X-ray Diffractometer
 

Quartz XRD的特點(diǎn):

 檢測(cè)速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標(biāo)準(zhǔn)偏差
空間分辨率: 1 mm ± 0.1 mm
› 測(cè)定相對(duì)于樣品的取向傾角
› 自動(dòng)顯示角度分量(Theta & Phi) ,包括標(biāo)準(zhǔn)偏差

德國工藝: 穩(wěn)健及模塊化設(shè)計(jì)
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個(gè)用戶級(jí)別。自動(dòng)顯示、記錄和報(bào)告測(cè)量數(shù)據(jù)
› 自動(dòng)化: 定制不同規(guī)格的晶圓片或blank的樣品處理系統(tǒng),包括機(jī)器人,取放,振動(dòng)分揀機(jī)

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