六軸力傳感器分類
   

       電容式則是將電容式力敏傳感器的核心部分是對(duì)壓力敏感的電容器。 

       力敏電容器的電容量是由電面積和兩個(gè)電間的距離決定的，當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時(shí)，硅膜片產(chǎn)生形變，板間的間距發(fā)生變化，從而引起電容量的變化，電容變化量與壓力差有關(guān)。 光學(xué)式多維力傳感器通過(guò)光學(xué)傳感器來(lái)測(cè)量微小變形，從而測(cè)出多維力和力矩。

六軸力傳感器分類

      壓電式多維力傳感器是另一種比較常用的測(cè)力裝置，它的基本測(cè)力原理是在外部應(yīng)力的作用下壓電材料產(chǎn)生電荷，當(dāng)外力變化時(shí)，壓電材料表面的電荷隨之變化帶來(lái)輸出電壓信號(hào)的變化。    六軸力傳感器分類       壓電傳感器的主要特點(diǎn)是其有很高的固有頻率 ( 20OkHz ) ，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。石英晶片的合理布置是傳感器設(shè)計(jì)的關(guān)鍵?？朔鞲衅鞲飨蜉d荷間的相互干擾是提高壓電傳感器測(cè)量精度的途徑。