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橢圓偏振的測量
閱讀：1290 發(fā)布時(shí)間：2017-12-3| 提 供 商 | 富盟德電子科技有限公司 | 資料大小 | 726.7KB |
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實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
實(shí)驗(yàn)儀器：
橢圓偏振測厚儀 型號(hào)：FMD6133
指標(biāo)：
偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°-180°
測量范圍：1nm-300nm
測量值：≤1nm
入射角：30°-90°；誤差：≤0.1°
度盤刻度：每格2度
游標(biāo)zui小讀數(shù)：0.05°
光學(xué)中心高度：152mm
工作臺(tái)直徑：Φ70mm