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技術文章

加熱旋涂機 勻膠機 旋轉涂膠機 旋涂機

閱讀:1159          發(fā)布時間:2019-2-22

加熱旋涂機 勻膠機 旋轉涂膠機 旋涂機 型號:KW-4L

KW系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。1、8寸大型24位真彩色觸摸屏   
1、人機界面和編程模式:2、帶USB/RS232/RS485)/RJ45口   
3、可存儲無限組數(shù)據(jù),每組15段轉速   
4、轉速范圍1-12000轉/分,加速度可調   
2、兼容基片:Φ5-Φ200mm硅片及其它材料等勻膠   
3、加速度范圍:1-10000RPM/S   
4、轉速穩(wěn)定度:±0.1%   
5、膜的均勻性:±1%   
6、電機功率:650W   
7、供電方式:單相110-240V供電   
8、真空泵抽氣速率:≥60升/分   
9、儀器尺寸:340mm(W)X500mm(D)X250mm(H)   
10、勻膠機重量:10KG   
11、泵重量:9KG   
12、特色功能:1.全機身采用304不銹鋼材質   
2.轉速精度:1RPM   
3.智能化人機界面   
4.可外接無線鼠標鍵盤操作   
5.可接U盤等轉移配方數(shù)據(jù)   
13、配套片托:5-200mm 
英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

 

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