高頻MEMS驅(qū)動測試在當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展中應(yīng)用越來越多，在物理學(xué)、半導(dǎo)體、光學(xué)、電子工程、材料工程、機械工程及生物工程等多種學(xué)科和技術(shù)中都有涉及。
近日，某科研單位需要實現(xiàn)正弦波驅(qū)動，信號帶寬2MHz，驅(qū)動電壓需要達(dá)到150Vpp，目前市面上的標(biāo)準(zhǔn)信號發(fā)生器輸出電壓低、電壓小于10Vpp帶負(fù)載能力弱，輸出電流是m*別。無法解決高壓大功率驅(qū)動問題。
如何解決高頻MEMS測試驅(qū)動問題
高頻MEMS核心器件主要是一種壓電控制器件，主要是利用其壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)能夠?qū)崿F(xiàn)機械能與電能的轉(zhuǎn)換，可以通過將壓電控制器件在高頻電信號的激勵下產(chǎn)生高頻振動，激發(fā)出超聲波，可以通過壓電控制器件接收超聲波轉(zhuǎn)換成電信號，從而實現(xiàn)超聲信號轉(zhuǎn)換。
高頻MEMS驅(qū)動方式一般為激振蕩式驅(qū)動，利用方波(或脈沖)振蕩器來激勵發(fā)聲。
高頻MEMS主要工作在1MHz以上的頻率上，電壓需要100Vp-p左右，要求大輸出功率，市場上常規(guī)的信號發(fā)生器輸出電壓低，帶負(fù)載能力弱，功率放大器和信號發(fā)生器都需要具有高性能和高品質(zhì)的輸出波形：一方面是良好的穩(wěn)定性能，輸出波形失真小，并且信號發(fā)生器還需要能產(chǎn)生多種波形信號;
另一方面是良好的動態(tài)性能，調(diào)幅調(diào)頻方便，負(fù)載適應(yīng)性好，此外有些測試除了需要信號發(fā)生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。
針對此次測試推出測試方案：信號發(fā)生器+功率放大器，信號發(fā)生器輸出電壓幅度只有5Vp-p，接上功率放大器，輸出電壓達(dá)到了150Vpp，功率大105W，頻率范圍是DC-3MHz，可放大任意波形，輸出阻抗可調(diào)整，可驅(qū)動各種阻性、容性、感性負(fù)載，*驅(qū)動測試需求，功放輸出信號直接加載到高頻MEMS器件上面，同時使用高分辨率示波器進(jìn)行整個鏈路信號分析測試。
理想的可放大交、直流信號的單通道高壓功率放大器。大輸出150Vp-p(±75Vp)電壓，105Wp功率，可以驅(qū)動高壓功率型負(fù)載。電壓增益數(shù)控可調(diào)，一鍵保存常用設(shè)置，為您提供了方便簡潔的操作選擇，可與主流的信號發(fā)生器配套使用，實現(xiàn)信號的完美放大。
