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DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器的電氣接口形式介紹!

閱讀:1506      發(fā)布時間:2023-9-11
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DS300簡介

 

     

      DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測原理的質(zhì)量流量控制器,流量控制采用壓電閥控制技術(shù)。產(chǎn)品具有零點(diǎn)漂移小,控制流量穩(wěn)定、可靠,響應(yīng)時間短、精度高的優(yōu)點(diǎn),此外還具有壓力不敏感功能,能夠適用較大的氣源壓力波動。產(chǎn)品采用全金屬密封,所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過EP處理,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),如刻蝕設(shè)備上。

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       DS300外觀圖

 

 

電源方式

 

 

     

      DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品采用開關(guān)電源方式,可支持很寬的雙電源(±8~±16V DC)或單電源(+14~+28V DC),客戶可以根據(jù)需要自行選擇。

 

 

 

電氣接頭

 

 

     

        DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽接頭(9針或15針),客戶可以根據(jù)需要自行選擇。

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    圖1  9針D型陽接頭連接圖  

 

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       圖2  15針D型陽接頭連接圖

 

 

 

通訊協(xié)議

 

    

      DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議,客戶可以根據(jù)需要自行選擇,其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進(jìn)行連接。

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             圖3  DeviceNet連接圖    

 

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       圖4  RS485連接圖  

 

 


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