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DS300簡介

      DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測原理的質(zhì)量流量控制器，流量控制采用壓電閥控制技術(shù)。產(chǎn)品具有零點(diǎn)漂移小，控制流量穩(wěn)定、可靠，響應(yīng)時間短、精度高的優(yōu)點(diǎn)，此外還具有壓力不敏感功能，能夠適用較大的氣源壓力波動。產(chǎn)品采用全金屬密封，所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過EP處理，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，如刻蝕設(shè)備上。

       DS300外觀圖

電源方式

      DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品采用開關(guān)電源方式，可支持很寬的雙電源（±8～±16V DC）或單電源（+14～+28V DC），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。

電氣接頭

        DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽接頭（9針或15針），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。

    圖1  9針D型陽接頭連接圖  

       圖2  15針D型陽接頭連接圖

通訊協(xié)議

      DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議，客戶可以根據(jù)需要自行選擇，其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進(jìn)行連接。

             圖3  DeviceNet連接圖    

       圖4  RS485連接圖