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氣體質(zhì)量流量控制器用途參數(shù)

閱讀:3896      發(fā)布時(shí)間:2018-3-26
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 D07-9E氣體質(zhì)量流量控制器用途: 

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-9E氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

D07-9E

產(chǎn)品類型

普通型

流量量程

20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

產(chǎn)品精度

±2%F.S.

重復(fù)精度

±0.2% FS

線性

±1%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號(hào)

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

常閉

溫度系數(shù)

- 無(wú) -

零點(diǎn)飄移指標(biāo)

- 無(wú) -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.05~0.30) MPa(20slm ≤F.S.≤30slm),(0.10~0.30) MPa(50slm m≤F.S.≤150slm),(0.15~0.30) MPa(200slm ≤F.S.≤250slm)

漏率

1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10

表面化學(xué)成分

- 無(wú) -

表面粗糙度

- 無(wú) -

抗電磁干擾

- 無(wú) -

重量

2.6Kg

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