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韓國Ls高速Spinner中空伺服電機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備清洗涂膠應(yīng)用

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LS特種電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

隨著國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，制程設(shè)備關(guān)鍵零部件，韓國LS特研制出的Spinner 空心軸高速伺服電機(jī)，有著20多年行業(yè)應(yīng)用。服務(wù)于半導(dǎo)體晶圓電鍍，涂膠、顯影、清洗、固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測等設(shè)備中，該電機(jī)具備高加速度，速度范圍寬，高響應(yīng)性等特點，在業(yè)內(nèi)廣受客戶好評。

 

APM-HB01ACH    APM-HB03HBH-GY   APM-HB03HBH-CD  APM-HB03HBH-CD1

APM-HB02ACH   APM-HC07HCH-200  APM-HC06HCH        APM-HB04AAH-DT

APM-HB04ACH    APM-HE09ACH          APM-HE15ACH        APM-HE30ACH



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