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精密蠕動(dòng)泵會(huì)被哪些因素影響流速
閱讀：816 發(fā)布時(shí)間：2019-7-15
精密蠕動(dòng)泵會(huì)被哪些因素影響流速
用于CMP應(yīng)用中的漿料輸送和分配的其他技術(shù)，例如流動(dòng)回路控制器，通常需要內(nèi)部空氣，這通常會(huì)在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題。但是使用精密蠕動(dòng)泵，漿料始終不會(huì)在管道內(nèi)受到污染。而且，使用硅膠管，即使在連續(xù)運(yùn)行3-6個(gè)月后，與舊的蠕動(dòng)管配方相關(guān)的散裂問題也不會(huì)成為問題，并且壓力和流量一致性沒有損失。
精密蠕動(dòng)泵適用于各種管尺寸，高科技管材和新型*泵頭設(shè)計(jì)可長(zhǎng)時(shí)間長(zhǎng)時(shí)間提供準(zhǔn)確，可靠和可重復(fù)的連續(xù)流體傳輸。準(zhǔn)確擠出，流量，可提高管道壽命，精度和壓力性能。
多種管道選項(xiàng)和各種高性能泵頭可滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求，包括輸送鎢和氧化物漿液，去離子水和氫氧化銨。對(duì)于這些關(guān)鍵應(yīng)用，是“當(dāng)性能重要時(shí)”的理想選擇。
流速是泵的重要參數(shù)，精密蠕動(dòng)泵中的流速由許多因素決定，例如：軟管ID-更高的流量和更大的ID；泵頭外徑-更高的流速和更大的外徑；泵頭轉(zhuǎn)速-更高的流量和更高的轉(zhuǎn)速；進(jìn)口脈動(dòng)-脈沖減少了軟管的填充量。
增加輥?zhàn)拥臄?shù)量不會(huì)增加流速，相反，它會(huì)通過減少頭部的有效周長(zhǎng)來稍微降低流速。增加滾子確實(shí)傾向于通過增加脈沖流的頻率來減小在出口處脈動(dòng)的流體的振幅。
管的長(zhǎng)度不影響流速。然而，較長(zhǎng)的管意味著入口和出口之間的夾點(diǎn)更多，從而增加了泵可以產(chǎn)生的壓力。
在大多數(shù)情況下，精密蠕動(dòng)泵的流速不是線性的。泵入口處的脈動(dòng)效應(yīng)改變了蠕動(dòng)軟管的填充程度。在高入口脈動(dòng)的情況下，蠕動(dòng)軟管變成橢圓形，這導(dǎo)致流量減少。因此，只有當(dāng)泵具有恒定的流速時(shí)，或者當(dāng)使用正確設(shè)計(jì)的脈動(dòng)阻尼器*消除了入口脈動(dòng)時(shí)，才能使用精密蠕動(dòng)泵進(jìn)行測(cè)量。