微壓差變送器，其工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，利用電子線(xiàn)路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

以潔凈室為例。潔凈室的壓差就是潔凈室與周?chē)臻g所必須維持的靜壓差。對(duì)于潔凈室來(lái)說(shuō)，必要的壓差是控制漏氣方向的手段，是正常工作的基本條件。相鄰潔凈室之間如果靜壓差過(guò)大或因建造原因帶來(lái)的縫隙，將會(huì)造成空氣泄漏，嚴(yán)重時(shí)會(huì)使?jié)崈羰覂?nèi)的氣流紊亂。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。

采用Dwyer MS系列 Magnesense®微差壓變送器進(jìn)行潔凈室測(cè)定，其優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在可用于監(jiān)測(cè)微壓/微差壓/真空，和監(jiān)測(cè)風(fēng)速/風(fēng)量。可自選出廠量程，可現(xiàn)場(chǎng)選擇公制/英制工程單位，可現(xiàn)場(chǎng)加裝LCD數(shù)顯，可調(diào)整輸出信號(hào)的阻尼系數(shù)，當(dāng)和皮托管或其它差壓風(fēng)速傳感器配合測(cè)量風(fēng)速風(fēng)量時(shí)，可選擇開(kāi)方輸出。

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