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1、X射線管
X 射線管是工作在高電壓下的真空二極管，其包含有兩個(gè)電極：一個(gè)是用于發(fā)射電子的燈絲，作為陰極；另一個(gè)是用于接受電子轟擊的靶材，作為陽(yáng)極。兩級(jí)均被密封在高真空的玻璃或陶瓷外殼內(nèi)。施加到該燈絲上的電流使其加熱至1000攝氏度，因此它能發(fā)射出電子。一旦燈絲發(fā)射出電子，在燈絲和陽(yáng)極之間施加高電壓以加速電子在燈絲與陽(yáng)極之間的移動(dòng)。加速電子與陽(yáng)極之間的相互作用即可以引起X射線的產(chǎn)生。陽(yáng)極材料中的元素類型決定了發(fā)射出來(lái)X射線的能量大小。
 

2、X射線探測(cè)器
X射線探測(cè)器主要是用于測(cè)量目標(biāo)樣品發(fā)出的X射線熒光，目前市場(chǎng)上已經(jīng)有多種不同類型的X射線熒光分析探測(cè)器可用。能量色散X射線熒光光譜分析技術(shù)通常使用的為固態(tài)探測(cè)器，例如SI-PIN探測(cè)器或者硅漂移探測(cè)器（SSD）等。每種類型的探測(cè)器在不同的應(yīng)用方面都具有不同的優(yōu)劣勢(shì)，因此并不存在好與差之分，只需根據(jù)具體需求進(jìn)行選擇即可。分辨率和靈敏度是X射線探測(cè)器兩個(gè)重要的性能參數(shù)。一般情況下，分辨率越高意味著探測(cè)器可以檢測(cè)更多能量水平之間的差異；靈敏度越高意味著探測(cè)器能夠檢測(cè)到更多的輻射量子。
 

3、多通道分析器；

4、計(jì)算機(jī)
計(jì)算機(jī)主要起到管理用戶界面和通訊的作用，此外還具有存儲(chǔ)、檢索和顯示數(shù)據(jù)等功能。X射線熒光光譜儀能夠發(fā)展為移動(dòng)的手持式設(shè)備，在某種程度是因?yàn)橛?jì)算機(jī)功能能夠駐留在較小的嵌入式應(yīng)用處理器上，處理器變小使得整體體積也因此變小。