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產品簡介
| 背散射電子圖像分辨率 | 4.0nm@30KV | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 二次電子圖象分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mmnm | 放大倍數 | ×5~×300,000x |
| 加速電壓 | 0.5KV ~ 30KVkV | 價格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
| 儀器種類 | 熱場發(fā)射 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,電子/電池,道路/軌道/船舶 |
詳細介紹
二手蔡司場發(fā)射電鏡，蔡司SUPRA 40VP原理介紹
掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經濟的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統認識，經常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外，也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例，從環(huán)境條件、光學系統、真空系統及附件設施4個方面總結了熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡運行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護保養(yǎng)經驗，并結合故障實例進行了分析
查看環(huán)境條件
掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下，環(huán)境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜，保證實驗室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調和除濕機，特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對震動和磁場強度的要求也較高，所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。一般在安裝時，建議將電鏡放置在樓體一層，遠離輸電線路、大功率設備等，并做防震地基和獨立地線設置。電鏡地線要求必須是獨立地線，即接地體到接線端子均獨立，避免地線連接到公共接地體。在使用過程中，若周圍有雜散磁場，在大倍數觀察時圖像會出現縱或橫條紋干擾。總之，日常使用過程中要嚴格控制電鏡的環(huán)境條件。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例，環(huán)境條件要求如下：溫度保持在21～25℃，相對濕度小于65%，磁場強度小于3×10－7T，噪聲強度小于65dB，獨立地線的接地電阻小于0.1Ω。
檢查光學系統
電子光學系統是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的，也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行，必須調節(jié)這些部件合軸，即光闌對中。而電鏡初學者往往一味地進行調焦、變倍操作，可是得到的圖像仍不清楚，于是懷疑電鏡出現故障。下面將就從光闌對中、物鏡消像散、查看電子束束流和燈絲壽命情況這幾個方面進行闡述，以便進一步了解電鏡的性能，做好電鏡的日常維護保養(yǎng)工作。
（1）檢查光闌對中。在更換試樣、調整加速電壓和探測器類型時需檢查光闌是否對中。具體操作方法是打開調焦搖擺功能，查看高倍數下電子圖像是否上下左右擺動，若擺動則調節(jié)光闌對中按鈕，直至圖像僅出現上下擺動。
（2）檢查像散情況。像散是電子光學系統中所形成的磁場或靜電場不能滿足軸對稱要求時產生的。圖像聚焦和消像散是圖片質量的重要保證。若反復聚焦后圖像仍不清晰，在欠焦和過焦時垂直方向上出現模糊并拉長的現象，則說明有像散存在，需要調節(jié)像散。正常情況下也會出現像散，可通過觀察狀態(tài)欄中的像散值查看是否處于正常狀態(tài)。若X或Y 軸的像散值小于30%，則說明像散處于正常狀態(tài)；若像散值大于30%，則說明像散處于非正常狀態(tài)。產生像散的原因是多方面的，如透鏡材料不均勻、極靴孔之間對中不好以及加工精度影響等，而電鏡在使用過程中電子通道周圍部分被污染而帶電是產生像散的主要原因。以ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例，其電子通道的污染會形成一個局部的靜電場，干擾電子束的正常聚焦。雖然電鏡中設置八極電磁式消像散器，可產生一個弱的校正磁場，但其作用是有限的。若電子通道污染，則需清洗光闌和其他電子束通道部位來消除像散。
檢查真空系統
電鏡中的真空系統一般由真空泵、管道、和真空測量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關注真空系統，定期記錄系統真空和槍真空數值，或是打開真空監(jiān)控器（Gun Monitor）實時監(jiān)控真空值。對于ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進行必要的檢查和維護保養(yǎng)，如檢查各真空系統部件或進行烘烤操作，具體方法如下：
（1）觀察真空裝置的啟動順序及啟動時間。ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動順序為機械泵潘寧規(guī)、離子泵。一般換試樣抽真空時間為3min。如時間過長，需檢查真空裝置是否為異常啟動情況。
（2）判斷分子泵前級泵的工作狀態(tài)。定期查看分子泵的功率狀態(tài)，操作方法為：打開分子泵控制器，查看分子泵功率，若小于10W，則分子泵前級泵（機械干泵）無過多附加阻力，為正常狀態(tài)；否則，說明前級泵存在過多負載。
（3）機械干泵的維護。機械干泵中密封圈為易耗品，隨著機械摩擦時間的增加，密封圈變小，給分子泵帶來過多負載，抽真空時間變長。一般情況下，機械干泵的維護需在1～2a（年）內進行，即更換密封圈。
二手蔡司場發(fā)射電鏡，蔡司SUPRA 40VP應用范圍
場發(fā)射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學、醫(yī)學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用新數字化圖像處理技術，提供高倍數、高分辨掃描圖像，并能即時打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測試和形貌觀察儀器。也是研究材料結構與性能關系所重要工具。
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