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JKZC-DM1700型程控蒸發(fā)鍍膜儀
  • JKZC-DM1700型程控蒸發(fā)鍍膜儀

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2025-05-20 16:04:45

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小型程控蒸發(fā)鍍膜儀JKZC-DM1700是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以設(shè)定程序,精確控制溫度200℃~1500℃(或者1200℃~1700℃),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

小型程控蒸發(fā)鍍膜儀JKZC-DM1700是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以設(shè)定程序,精確控制溫度200℃~1500℃(或者1200℃~1700℃),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn):

· φ6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品

· 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái),且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻

· 樣品臺(tái)與蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)

· 氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn)

基本參數(shù):

· 電源:208V-240V,50/60HZ

· 功率:<1.5KW

· 最高加熱溫度:≤1500℃



真空腔室:

· 材質(zhì):高純石英

· 尺寸:外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L250mm

· 密封法蘭:  采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封

· 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上

· 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體

· 真空度:<7.5×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵),<5×10-3 torr (采用渦旋分子泵)

JKZC-DM1700型程控蒸發(fā)鍍膜儀

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