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aix4PB機(jī)電薄膜e31測試儀

閱讀:182      發(fā)布時(shí)間:2022-02-10
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機(jī)電薄膜e31測試儀 aix4PB
(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的機(jī)電性能是MEMS器件設(shè)計(jì)的關(guān)鍵性能,縱向壓電系數(shù)d33和橫向壓電系數(shù)e31被用于表征傳感器和執(zhí)行器的這些關(guān)鍵性能。
縱向壓電系數(shù)可由aixDBLI測試,而橫向壓電系數(shù)e31就可用aix4PB系統(tǒng)測試。
通過必要夾具,可以測得正向e31和逆向e31。


標(biāo)準(zhǔn)的aix4PB系統(tǒng)主要由以下部分組成:四點(diǎn)彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀。
可以進(jìn)行如下測試功能:
全部鐵電性能表征,基于TF2000系統(tǒng),包括極化、電容、漏電流、疲勞測試。
有效橫向壓電系數(shù)的測量通過交替均勻機(jī)械力施加于樣品,并測試產(chǎn)生的電荷。
所有的測量數(shù)據(jù)也可以在附加的壓縮或拉伸靜態(tài)負(fù)載下進(jìn)行,這也覆蓋了整個(gè)壓電薄膜在整個(gè)MEMS器件中的行程。

特點(diǎn)/規(guī)格:
四點(diǎn)彎曲樣品夾具:
產(chǎn)生力的壓電執(zhí)行器
激光測振儀夾具
很容易接觸到頂部和底部的樣品電極
所有的TF2000系統(tǒng)的測試功能 
遠(yuǎn)程接入和腳本控制的可選件
單光束激光干涉儀,最小分辨率1nm

軟件:
Windows 7 操作系統(tǒng)
通過GPIB或以太網(wǎng)的遠(yuǎn)程接入和腳本控制
通過ODBC接口的數(shù)據(jù)庫連接
測試數(shù)據(jù)通過ASCII形式輸出
測試數(shù)據(jù)交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer


 


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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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