微區(qū)掃描電化學工作站是一個模塊化配置的系統(tǒng)，可以實現如下現今所有微區(qū)掃描探針電化學技術以及激光非接觸式微區(qū)形貌測試。

　　微區(qū)掃描電化學工作站出色的性能：

　　1.快速的閉環(huán)定位系統(tǒng)為電化學掃描探針納米級研究的需求而特別設計。結合Uniscan *的混合型32-bit DAC技術，用戶可以選擇合適實驗研究的*配置

　　2.先進和靈活的工作平臺

　　3.系統(tǒng)可提供9種探針技術，使得M470成為zui靈活的電化學掃描灘鎮(zhèn)工作平臺。

　　4.全面的附件

　　5.7種模塊可選，3種不同電解池，各式探針，長距顯微鏡以及后處理數據分析軟件。

　　微區(qū)掃描電化學工作站應用：

　　掃描電化學顯微系統(tǒng)（SECM）
    交流掃描電化學顯微鏡系統(tǒng)（ac-SECM）
    間歇接觸掃描電化學顯微鏡系統(tǒng)（ic-SECM）
    微區(qū)電化學阻抗測試系統(tǒng)(LEIS)
    掃描振動點擊測試系統(tǒng)（SVET）
    電解液微滴掃描系統(tǒng)（SDS）
    交流電解液微滴掃描系統(tǒng)（ac-SDS）
    掃描開爾文探針測試系統(tǒng)（SKP）
    非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)（OSP）

　　微區(qū)掃描電化學工作站技術參數：

工作站（所有技術）
掃描范圍（x,y,z）           大于100nm
掃描驅動分辨率              zui高0.1nm
閉環(huán)定位                    線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移
軸分辨率（x,y,z）            20nm
zui大掃描速度                 12.5mm/s
測量分辨率                   32-bit解碼器@高達40MHz
壓電（ic-和ac-掃描探針技術）
振動范圍                20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量
zui小振動分辨率          0.12nm(16-bit DAC,4μm)
壓電晶體伸展            100μm
定位分辨率              0.09nm(20-bit DAC ,100μm)
機電
掃描前端                500×420×675mm(H×W×D)
掃描控制單元            275×450×400mm(H×W×D)
功率                    250W