Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品介紹：

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡由GETec與Nanosurf提供,讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強(qiáng)大的分析工具，原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)，構(gòu)造真實(shí)的三維表面形貌，精確地測(cè)量高度信息、距離信息甚至材料屬性，但同時(shí)保持了在SEM的大范圍視場(chǎng)里定位AFSEM懸臂梁到您想要測(cè)量的準(zhǔn)確位置上。進(jìn)而大大地?cái)U(kuò)展了您的相關(guān)顯微鏡測(cè)量與分析的可行性。

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 實(shí)時(shí)在您的真空環(huán)境中進(jìn)行AFM分析

• 方便集成在SEM中進(jìn)行相關(guān)AFM分析

• 兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作

• 可適配真空腔室環(huán)境兼容大氣環(huán)境測(cè)量

• 操作簡(jiǎn)便而直觀

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

實(shí)時(shí)在您的電鏡中進(jìn)行AFM分析

原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)的互為補(bǔ)充可以對(duì)您的樣品進(jìn)行的表征成為可能。AFSEM可以讓您同時(shí)對(duì)您的樣品進(jìn)行高分辨成像，構(gòu)造真實(shí)的三維表面形貌，精確地測(cè)量高度信息、距離信息甚至材料屬性,但同時(shí)保持了在SEM的大范圍視場(chǎng)里定位AFSEM懸臂梁到您想要測(cè)量的準(zhǔn)確位置上。優(yōu)化的AFSEM工作流(不影響SEM正常運(yùn)行)確保了高效的操作,而強(qiáng)大的控制軟件可以實(shí)現(xiàn)智能化的測(cè)量、系統(tǒng)操作與數(shù)據(jù)分析。

SEM-AFM相關(guān)性分析

對(duì)于產(chǎn)品或材料分析,我們總是期望利用多種技術(shù)來(lái)進(jìn)行樣品分析，而且尋求參數(shù)之間的相關(guān)性,而像原子力顯微鏡(AFM)與掃描電鏡(SEM)這類成像技術(shù)，我們就希望在同一個(gè)準(zhǔn)確的位置進(jìn)行分析!

同步于AFM與SEM的多種其他分析技術(shù)工具

因?yàn)锳FSEM設(shè)計(jì)保持了全部的SEM功能性，它就可以聯(lián)合其他的一些標(biāo)準(zhǔn)的SEM分析技術(shù)如FIB，F(xiàn)EBID與EDX等，樣品無(wú)需掃描，而且相對(duì)重的或定制的樣品臺(tái)，比如張力牽拉臺(tái)、納米壓痕臺(tái)等，都可以輕松地聯(lián)合在AFSEM中。

兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作

AFSEM適配于大多數(shù)SEM或雙光束系統(tǒng)(SEM/FIB):它直接地安裝在系統(tǒng)腔室的門(mén)上,而不改變樣品臺(tái)自身。而且狹小的針尖掃描設(shè)計(jì)配合了自感應(yīng)探針系統(tǒng)在電子柱的頂部與樣品之間只需要4.5 mm空間即可。所以AFSEM能兼容于大部分標(biāo)準(zhǔn)的與可選的樣品臺(tái)，而且?guī)缀蹩梢蕴幚砟芊胚M(jìn)系統(tǒng)腔室的任何一個(gè)樣品。這種設(shè)計(jì)可以在電鏡中實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別臺(tái)階高度的測(cè)量.

操作簡(jiǎn)便而直觀

AFSEM提供了操作的靈活性與智能化定位,三軸粗定位臺(tái)移動(dòng)探針進(jìn)入或者離開(kāi)SEM的視場(chǎng)中的位置并定位探針到感興趣的位置,SEM樣品臺(tái)橫向移動(dòng)樣品為方便AFSEM與SEM測(cè)量:垂直方向上,AFM與可以與樣品一起移動(dòng),可以讓您安全地安全地上下移動(dòng)樣品而不會(huì)撞壞AFM探針。通過(guò)一個(gè)訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實(shí)現(xiàn)AFSEM的安裝,AFSEM可以通過(guò)僅僅四個(gè)螺絲就可以安裝或拆下下來(lái),整個(gè)過(guò)程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統(tǒng)中移除。探針都預(yù)安裝在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的接口上，可以快速實(shí)現(xiàn)探針更換,因此大大節(jié)省了系統(tǒng)的down機(jī)時(shí)間。因?yàn)樽愿袘?yīng)探針技術(shù)與自動(dòng)化探針定位調(diào)整,AFSEM系統(tǒng)馬上就可以開(kāi)始進(jìn)行操作.

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡部件與附件：

• AFSEM 測(cè)量頭

• AFSEM工具套裝（包含探針）

• 定位AFSEM測(cè)量頭用XYZ樣品臺(tái)+SEM定制適配板與密封間法蘭

• 控制器、高壓放大器、計(jì)算機(jī)（在一個(gè)控制柜里）+軟件

• AFSEM探針

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡常見(jiàn)測(cè)量模式：

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡圖：