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光學(xué)輪廓儀主要功能

閱讀:2088      發(fā)布時間:2019-11-1
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1.ZSI:剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像。

2.ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率。


3.AOI:自動光學(xué)檢測,并對樣品上的缺陷進行量化。

4.ZXI:白光干涉測量技術(shù),適用于z向分辨率高的廣域測量。

5.ZDot:同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。

6.ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)。

7.生產(chǎn)能力:通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量。

8.光學(xué)輪廓儀可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡。

9.采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用。

10.晶圓傳送機械臂: 自動加載直徑為50mm至200mm的不透明(如硅)和透明(如藍寶石)樣品。

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