這種開關(guān)的測量通常是構(gòu)成電容器的一個極板，而另一個極板是開關(guān)的外殼。這個外殼在測量過程中通常是接地或與設(shè)備的機殼相連接。當有物體移向接近開關(guān)時，不論它是否為導(dǎo)體，由于它的接近，總要使電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，從而使電容量發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化，由此便可控制開關(guān)的接通或斷開。這種接近開關(guān)檢測的對象，不限于導(dǎo)體，可以絕緣的液體或粉狀物等。

原理就是當電源接通時，RC振蕩器不震蕩，當一目標朝著電容器的電極靠近時，電容器的容量增加，振蕩器開始震蕩，通過后極電路的處理，將振和震蕩兩種信號轉(zhuǎn)換成開關(guān)信號，電容式接近開關(guān)的感應(yīng)圈由同軸金屬電極構(gòu)成，很像“打開的"電容器電極，這兩個電極構(gòu)成一個電容，串接在RC振蕩回路中，從而起到檢測有無物體存在的目的。